中微半导体获得晶圆运送设备及成膜设备专利提高了晶圆的良品率

来源：乐鱼网址    发布时间：2025-06-02 02:38:51

  金融界2025年4月10日音讯，国家知识产权局信息数据显现，中微半导体设备（上海）股份有限公司获得一项名为“晶圆运送设备及成膜设备”的专利，授权公告号 CN 222734968 U ，请求日期为 2024 年 6 月。

  专利摘要显现，本实用新型公开了一种晶圆运送设备及成膜设备，所述晶圆运送设备包含：运送臂，其首端用于托起晶圆托盘。机械臂，其与运送臂的结尾衔接，用于驱动运送臂移动，以传送晶圆托盘。防尘罩，其设置在运送臂的上方，以避免杂质颗粒坠落在晶圆上。支撑部，防尘罩的一端经过支撑部固定于运送壁上，支撑部接近运送臂的结尾设置。在运用本实用新型的晶圆运送设备进行传片时，阀门上的杂质颗粒若是会坠落，则会坠落在防尘罩上，减小坠落到晶圆上的几率，提高了晶圆的良品率。

  天眼查资料显现，中微半导体设备（上海）股份有限公司，成立于2004年，坐落上海市，是一家以从事计算机、通讯和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册本钱62236.3735万人民币，实缴本钱61927.9423万人民币。经过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外出资了28家企业，参加招投标项目65次，产业线条，此外企业还具有行政许可71个。

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